电容式位移传感器在使用过程中的局限性：

  在仪器仪表或超精密机械加工领域，往往要求在位移测量具有纳米级别的测量精度及分辨率的同时，还需要兼备程。电容式位移传感

器作为一种非光学测量的位移传感器，因其结构简单且具有很高的分辨率和带宽而被广泛应用在纳米测量领域。为了同时兼顾分辨率和量程,

一种采用重复的电容阵列作为传感单元，通过记录周期的电容变化来实现位移测量的电容式位移传感器便发展起来并得到运用。然而，

传统的电容式位移传感器具有以下局限：为了提高分辨率，就不得不减小对极宽度；而对极宽度的减小会导致非线性响应的增加，从而降低

测量精度。